Ofrece flexibilidad personalizada en un tamaño compacto y a un precio económico, nuestro sistema Nexdep es construido para satisfacer las necesidades del cliente. Ya sea que su proceso requiera evaporación resistiva, deposición catódica o evaporación por haz de electrones, el Nexdep es de alta capacidad. Su gran puerta frontal con bisagras hace que trabajar con él y su limpieza sea increíblemente fácil.
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Capacidades del proceso
- Evaporación térmica resistiva.
- Deposición catódica.
- Evaporación por haz de electrones.
- Deposición de iones asistida.
- Personalización disponible.
VISIÓN GENERAL
- Cámara en forma de D de altura 400mm x 475mm con una gran puerta con bisagras.
- Opciones de cámara en aluminio o acero inoxidable.
- Diseñado a la medida para satisfacer los requisitos del proceso.
- Soporte para múltiples procesos PVD.
- Área del equipo 600mm x 1000mm.
- Entrada de voltaje internacional disponible.
- Control avanzado de recetas a base de varias capas con control de inicio de sesión de usuario.
- Secuencial o co-deposición.
- La fijación estándar admite hasta 200 mm de diámetro, por favor póngase en contacto con nosotros para obtener ayuda con tamaños más grandes de sustrato.
- Entrenamiento de fábrica incluido con cada sistema.
- Nuestro manual de entrenamiento detallado enseña a nuevos usuarios cómo operar y mantener el equipo.
- Gran seguridad para el usuario, características tales como el corte de energía a las fuentes cuando la cámara está abierta.
- Garantía de 1 año con servicio al cliente.
CONTROL DE VACÍO
- Botón único automatizado de bombeo inferior y secuencias de ventilación.
- Paletas rotativas u opciones de bomba áspera de desplazamiento seco.
- Alto vacío proporcionado por bomba turbo molecular.
- Filtro de línea de aire neumático que impide que desechos no deseados lleguen y dañen componentes críticos.
- Sistema de fácil acceso interior con tablero eléctrico con bisagras.
CONTROL DE DEPOSICIÓN
- Máscara de Sombra y fijación de alineación de sustrato disponible.
- Los sensores están montados de forma rígida para asegurar que la calibración se mantenga.
- Disponible para calentamiento y enfriamiento de sustratos.
- En las configuraciones de co-deposición, los sensores QCM se aíslan con cuidado para garantizar que no hay interferencia a partir del material fuente adyacente.
- Movimiento planetario disponible.
- Escudos de aislamiento de acero inoxidable para ayudar a proteger las fuentes de contaminación cruzada.
