CARACTERÍSTICAS
- Horno de HMDS Vapor-prime está construido para líneas de producción de fotolitografía.
- Adecuado para la CI, PSS LED, MEMS y otros sustratos.
- Tamaño de oblea de hasta 4″.
- Sistema central de control basado en PC.
- Software completo mejora la capacidad del proceso.
- Bajo costo de producción, Alta productividad.
- De área pequeña.
- Sistema con historial de operación.
- Operación libre de errores, producción integrada para selección de recetas.
- Resumen de la producción: historial del lote.
- Gestión de alarmas.
- Calibración en modo Teach-mode.
- Operación manual sencilla: Módulo de sintonía de receta.
- Recetas ilimitadas y de módulos conectables.
Beneficios del software
- PC distribuido y controlador del módulo de PLC.
- Controlador de interrupciones y temporizador de vigilancia.
- PLC expandible I/S.
- 4 puertos serie, 2 con RS232/422/485.
- Cableado de señal simplificada.
- Lámpara de torre de 3 colores.
- Utilidad de monitorización modular.
- Interfaz OEM más fácil.
Beneficios del controlador de módulo
- Controlador de temperatura digital (Watlow).
- Diseño especial Prime cámara de vapor.
- Material de aluminio anodizado claro.
- Seguridad y bloqueo de función ESC, Over temp., Cubierta de tapa.
- Diseñado para minimizar el consumo de HMDS.
- vigilancia y entrada de datos en pantalla táctil.
Beneficios de hardware mejorado
ESPECIFICACIONES
| Sistema básico | Módulo descentralizado controlado |
| Tamaño de la oblea | 4″ |
| Manejo de la oblea | Transferencia de robot al azar |
| Material de contacto de la oblea | Aluminio anodizado |
| Precisión de la posición | ≤ 0.1 mm |
| ECS / GEM | Opción |
