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Ofrece flexibilidad personalizada en un tamaño compacto y a un precio económico, nuestro sistema Nexdep es construido para satisfacer las necesidades del cliente. Ya sea que su proceso requiera evaporación resistiva, deposición catódica o evaporación por haz de electrones, el Nexdep es de alta capacidad. Su gran puerta frontal con bisagras hace que trabajar con él y su limpieza sea increíblemente fácil.

    Capacidades del proceso

  • Evaporación térmica resistiva.
  • Deposición catódica.
  • Evaporación por haz de electrones.
  • Deposición de iones asistida.
  • Personalización disponible.

VISIÓN GENERAL

  • Cámara en forma de D de altura 400mm x 475mm con una gran puerta con bisagras.
  • Opciones de cámara en aluminio o acero inoxidable.
  • Diseñado a la medida para satisfacer los requisitos del proceso.
  • Soporte para múltiples procesos PVD.
  • Área del equipo 600mm x 1000mm.
  • Entrada de voltaje internacional disponible.
  • Control avanzado de recetas a base de varias capas con control de inicio de sesión de usuario.
  • Secuencial o co-deposición.
  • La fijación estándar admite hasta 200 mm de diámetro, por favor póngase en contacto con nosotros para obtener ayuda con tamaños más grandes de sustrato.
  • Entrenamiento de fábrica incluido con cada sistema.
  • Nuestro manual de entrenamiento detallado enseña a nuevos usuarios cómo operar y mantener el equipo.
  • Gran seguridad para el usuario, características tales como el corte de energía a las fuentes cuando la cámara está abierta.
  • Garantía de 1 año con servicio al cliente.

CONTROL DE VACÍO

  • Botón único automatizado de bombeo inferior y secuencias de ventilación.
  • Paletas rotativas u opciones de bomba áspera de desplazamiento seco.
  • Alto vacío proporcionado por bomba turbo molecular.
  • Filtro de línea de aire neumático que impide que desechos no deseados lleguen y dañen componentes críticos.
  • Sistema de fácil acceso interior con tablero eléctrico con bisagras.

CONTROL DE DEPOSICIÓN

  • Máscara de Sombra y fijación de alineación de sustrato disponible.
  • Los sensores están montados de forma rígida para asegurar que la calibración se mantenga.
  • Disponible para calentamiento y enfriamiento de sustratos.
  • En las configuraciones de co-deposición, los sensores QCM se aíslan con cuidado para garantizar que no hay interferencia a partir del material fuente adyacente.
  • Movimiento planetario disponible.
  • Escudos de aislamiento de acero inoxidable para ayudar a proteger las fuentes de contaminación cruzada.