PRODUCTOS

ICP-RIE-System

Sistema ICP-RIE

Grabado con iones reactivos mediante plasma acoplado Inductivamente (ICP) es un proceso de grabado de silicio utilizando plasma. Proporciona un buen grabado anisotrópico en el silicio. También es una de las principales técnicas para construir algunos dispositivos tales como micro-sensores y micro-actuadores.

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Asher-RIE-System

Sistema Asher, RIE

El grabado reactivo (RIE) es una tecnología de grabado utilizado en micro-fabricación. Se utiliza plasma químicamente reactivo para eliminar el material depositado sobre las obleas. Iones de alta energía desde el plasma atacan la superficie de la oblea y reaccionan con ella. Utilizado para el grabado de silicio, Dieléctricos (SiO2, Si3N4, etc ) y Poliamida.

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SiliconThinfilm

SISTEMA PARA PRODUCCIÓN DE CELDAS SOLARES DE PELÍCULA DELGADA DE SILICIO.

Sistema de PE-CVD, excelente alternativa para el depósito de una variedad de películas delgadas a temperatura inferior a la utilizadas en los reactores de CVD manteniendo la calidad en la película.
Este equipo utiliza baja energía eléctrica para generar plasma, quien trasmite energía a la mezcla de gases en la reacción.
Entre sus propiedades se encuentra buena adhesión, baja densidad en defectos y excelente uniformidad.

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2

Sistema para producción de Celdas Solares

Equipo diseñado para la fabricación de celdas solares para el área de investigación y desarrollo, con películas delgadas compuestas. Compuesto por MBE, Sputtering para contactos traseros y la capa de ventana por cámaras Sputtering. Los procesos de la serie CIGS contactos traseros son depositados en vidrios SODAGLASS por la técnica de sputtering, después la capa de absorción es crecida por fuentes múltiples (CU,In,Ga,Se) por el método de evaporación. Luego la capa de ventana es fabricada de películas delgadas de ZnO o ITO utilizando sputtering RF.

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OLED-System

Sistema para producción de OLED

Consiste en un evaporador, parileno, glove box, loadlock, y Sputter. Sus aplicaciones son PMOLED, AMOLED sobre vidrios y obleas. Iluminación, total, Mono y por área.

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