CARACTERÍSTICAS
- Depósito de película delgada a gran escala.
- Multifuncional.
- Depósito de heteroestructuras (Fe/SrTiO3, Nb/SrTiO3, BiFeO3, etc).
- Compatibilidad con otras técnicas.
- Cámara esférica de 12′′a 18′′.
- Manipulador de cuatro (4) ejes ( XYZR ) con sistema de calentamiento por láser.
- La temperatura de calentamiento por encima de 1200 ° C , ± 1 ° C (en O2 o O3).
- 6 soportes para material objetivo de 1 pulgada.
- Sistema de máscara simple/doble.
- Sistema de control de presión: arriba/abajo.
- Sistema RHEED de alta presión.
- Sistemas personalizados.
