APLICACIONES
- Celdas solares de película delgada CIGS.
ESPECIFICACIONES
| Espesor de depósito | Hasta varios 1000 A para películas de MO, CIGS, ZnO |
| Uniformidad en películas delgadas | <±5% |
| Uniformidad de resistencia de hoja | ±5% para películas de Mo |
| Uniformidad de temperatura | <±3% sobre la placa y en dirección Z |
| Tamaño de sustrato | Depósito Vidrio y metal flexible de hasta 4″ |
| Técnica de depósito | Películas de Mo por el método de Magnetrón Sputtering DC Películas de CIGS por el método de MBE Películas de ZnO intrínseco y tipo N por el método de Magnetrón Sputtering RF |
| Cámara de vacío | opciones para transferencia, pre cámara, cámara MBE, cámara para sputtering Mo-ZnO. |
