EasyGas-CVD

Los Gabinetes de gases EasyGas™ 1500 son totalmente Automatizado, representando el compromiso de la marca First Nano a suministrar sistemas de distribución de gas de ultra-alta pureza (UHP) más seguros y confiables de la industria.

Su configuración y conceptos de diseño modular, controles de la arquitectura y del gabinete se han combinado para ampliar el espectro de la configuración del producto y aumentar enormemente la flexibilidad del usuario. Los EasyGas™ 1500 hacen que sea sencillo satisfacer las necesidades exactas de los sistemas de distribución de gas. Nuestro concepto de diseño modular permite el reemplazo a nivel de componentes, facilidad de servicio y capacidad de actualización.

CONFIGURACIÓN ESTÁNDAR

    Gabinetes de cilindros:

  • 2-cyl, [1-proceso, 1-purga].
  • 2-cyl, [2-proceso], fuente de purga externa.
  • 3-cyl, [2-proceso, 1-purga].
  • Salida independiente o conmutación automática.
  • Transición de gabinete a gabinete.

    Controles estándar/Características:

  • Control del PLC de todas las funciones críticas.
  • Pantalla táctil brillante a color de 10.4″.
  • Rutinas de auto-secuenciado probadas para todos los aspectos en las operaciones y mantenimiento.
  • Límites ajustables por el usuario para todos los parámetros del proceso y de alarma.
  • Monitor de presión de salida.
  • Advertencias en pantalla, alarmas, pautas e instrucciones.
  • Apagado de emergencia (AE).
  • AE y entradas EGO.
  • Salidas de alarma.
  • Protección por contraseña de niveles múltiples.
  • Pantalla de Diagnósticos.
  • Pantalla de recuento de ciclos de la válvula.
  • Purga Z lista para el cumplimiento de Clase I Div II.

    Características del panel de Proceso:

  • Ultra-alta pureza (UHP) 316L SS o VAR construcción.
  • Acabado de la superficie 10 Ra promedio o mejor.
  • Válvulas de diafragma sin muelles.
  • Regulador de proceso de diafragma Atado.
  • Sensor de flujo de precisión.
  • Vacío de purga asistida.
  • UHP orbitalmente soldada con descansos VCR® estratégicos.
  • Fuga de helio probada a 1,0 x 10-9 atm* cc/s.
  • CLASE 100/CLASE 10 de montaje y prueba de cuarto limpio.

    Dimensiones *:

  • 1-cil: 18 “W x 84” H x 19 “D.
  • 2-cil: 24″ W x 84″ H x 19″ D.
  • 3-cil: 36″ W x 84″ H x 19″ D.

    Código y Estándares Referenciados:

  • SME Sección IX.
  • Pautas de seguridad SEMI S2™ para Manufactura de Equipo Semiconductor.
  • NFPA® 79, 496, 70 [NEC®].
  • Fábrica Mutual®.
  • UL®.
  • CE®.

REQUERIMIENTOS DE INSTALACIONES

  • 1. Proceso de purga : Ajustable a 80 psig 30 slm máx.
  • 2. Unidad de vacío : Ajustable a 85 psig 85 slm máx.
  • 3. Proceso de ventilación : > 1.0″WC 100 slm.
  • 4. Suministro Neumático: Ajustable a 90 psig 1 slm máx.
  • 1. Energía : 115V/3A N/A.
  • Aspersor [si se usa]: 30 psig 31 gpm.
  • 5. Escape : > 0,15″ WC 300 scfm (2-cil), 450 scfm (3-cil).

*El regulador frontal debe ajustarse para satisfacer una velocidad de 200 pies por minuto como lo requiere la UFC.