| Tamaño de muestras |
4″ |
| Tiempo de inspección |
20-80 min depende del número de máscaras |
| Capacidad de carga |
1 hoja de vidrio. 4 hojas de máscara |
| Método de transferencia |
Robot con vacío |
| Tratamiento plasma |
Opcional |
| Precisión de alineamiento |
Menos de +-50um |
| Fuente de evaporación para orgánicos |
5 cada uno, 10 CC para almacenaje, 4 CC para dopante |
| Fuente de evaporación para metales |
Fuentes térmicas, E-beam opcional. |
| Uniformidad en depósito |
Orgánicos, metales, sputter menos de +-3% |
| Máxima velocidad de depósito |
Orgánicos 5 A/seg, Metales 10 A/seg. |
| Precisión en la velocidad de depósito |
Orgánicos ±5%, Metales ±7% |
| Confiabilidad en el espesor |
Orgánicos y Metales ±5% vidrio a vidrio |
| Radio de dopaje |
Menos del 1% a 1A/seg |
| Óxidos conductivos |
Bajo daño en sputtering |
| Películas delgadas de pasivación |
Recubrimiento de parileno e inorgánicos |
| Caja de guantes |
H2O, O2 menos de 1ppm |
| Opcional, totalmente automatizado. |
|
