CARACTERÍSTICAS
- Cámara de acero inoxidable o de aluminio.
- Gabinete de acero inoxidable.
- Capaz de grabar compuestos de Si (~ 400 Å/min) y metales.
- Tasa de grabado Si típica, 400 Å/min.
- Hasta 12″ platina anodizado RF.
- Enfriado por agua y el Rodillo RF climatizado.
- Distribución de gas por cabezal tipo regadera.
- Alcanza aproximadamente 10-6 Torr < 20 minutos, ~ 5 x10-7 Torr presión base.
- Bomba turbomolecular.
- Hasta ocho MFC.
- Líneas de gas no flexibles.
- Control de presión.
- Capacidad de grabado dual: Grabado RIE y plasma.
- Detección del punto final.
- Top Neumáticamente levantada.
- Carga/descarga manual o automática.
- Controlado por PC con LabVIEW.
- Receta Driven , protegido por contraseña.
- Bloqueado Totalmente por seguridad.
- ICP fuente opcional y enfriamiento criogénico de la platina para grabado Si profundo.
