CARACTERÍSTICAS
- Sistema tipo Mesa, 26“D x 26“W.
- Cámara de acero inoxidable o Aluminio.
- Gabinete de acero inoxidable.
- Capaz de grabar los compuestos de Si (~ 400 Å/min) y metales.
- Tasa de grabado Si típica, 400 Å/min.
- Hasta 12 ” platina anodizado RF.
- Enfriado por agua y el Rodillo de RF refrigerado.
- Cabezal para distribución de gas.
- Aproximadamente 10-6 Torr < 20 minutos, ~ 5 x10-7 Torr presión base.
- Bomba turbomolecular.
- Hasta cuatro de MFC en NRE-3000.
- Líneas de gas rígidas.
- Control de presión.
- Capacidad de grabado dual: Grabado RIE y Plasma.
- Detección del punto final.
- Neumáticamente levantada.
- Carga/descarga manual o automática.
- Controlado por PC con LabVIEW.
- Controlador de recetas, protegidos por contraseña.
- Bloqueado totalmente por seguridad.
- ICP fuente opcional y enfriamiento criogénico de la platina para grabado Si profundo.
