CARACTERÍSTICAS
- Fácil operación e instalación.
- Capacidad para sustratos de varios tamaños.
- Módulo de exposición de Led UV.
- Tiempo de vida largo de la labrara de UV-LED.
ESPECIFICACIONES
| Tipo | Totalmente manual (Mask Aligner) |
| Tamaño de Máscara | Hasta 5″ x 5″ |
| Tamaño de Sustrato. | Una pieza de 4″ diámetro |
| Lámpara UV | UV-LED y fuente de alimentación |
| Tamaño de la uniformidad de haz |
125mm diámetro |
| Uniformidad de haz | <±3% |
| Longitud de onda del haz |
Solamente 365nm |
| Intensidad de 365nm | ~20mW/cm2 |
| Precisión en la alineación | 1um |
| Resolución del proceso | 1um@1um PR espesor con contacto con vacío |
| Modo de proceso | Suave, Intenso, Proximidad y contacto |
| Movimiento del sustrato | x,y,z & θ |
