CARACTERÍSTICAS
- Fácil operación UI.
- Operación con PLC a través de un PC.
- Registro de datos.
- Más de 100 recetas programables.
- Sistema de control de posicionamiento con microscopio.
- Auto alineamiento con la función de búsqueda de marca.
ESPECIFICACIONES
| Tipo | Totalmente automática (Mask Aligner) |
| Tamaño de Máscara | Hasta 14″ x 14″ |
| Tamaño de Sustrato | 12″ circular |
| Lámpara UV | 5kW y Fuente de alimentación |
| Tamaño de la uniformidad de haz |
13.25″ x 13.25″ |
| Uniformidad de haz | <±5% |
| Longitud de onda del haz |
350 ~ 450nm |
| Intensidad de 365nm | 25~60mW/cm2 (2kW) |
| Precisión en la alineación | 1um |
| Resolución del proceso | 1um@1um PR espesor por contacto con vacío |
| Modo de proceso | Suave, Intenso, Proximidad y contacto |
| Movimiento del sustrato | x,y, z & θ (motorizados) |
| Prealineamiento | ±50 μm |
| Opciones |
Medidor de intensidad UV Módulo de exposición UV-LED (350 nm) |
