ET6000

Los sistemas EasyTube® 6000 Multi-Tubo pueden ser configurados para el procesamiento por lotes de múltiples obleas con hasta cuatro reactores (4) configurados por separado en el mismo sistema.

Nuestros sistemas ET6000 y ET6308 se utilizan en todo el mundo en plantas de fabricación de metal-óxido-semiconductor ( CMOS ) y los sistemas micro-electro-mecánicos (MEMS ) como complemento para realizar pasos del proceso de flujo de trabajo. Ejemplos incluyen la oxidación, difusión, deposición de silicio, óxido de deposición, la deposición de nitruro, vidrio boro de silicato de fosfato, etc.

El sistema está diseñado para cumplir con las normas de seguridad actuales para el manejo de gases pirofóricos, corrosivos, inflamables, tóxicos y como el hidrógeno, silano, germano, diborano, cloruro de hidrógeno, y los precursores orgánicos de metal. El sistema cuenta con los protocolos de seguridad de aplicaciones incrustadas en la lógica de relé, PLC, y el software CVDWinPrC™.

EasyTube 6308

EasyTube

Configurado para el funcionamiento en vacío o atmosférica
Cada tubo de proceso puede configurarse para operación atmosférica o al vacío.

Sistema de carga en voladizo
El EasyTube® serie 6000 utiliza un mecanismo de sustrato carga en voladizo y tiene un filtro HEPA de flujo laminar horizontal para minimizar la contaminación de partículas durante la carga.

Control de temperatura en cascada
Control de la temperatura en cascada proporciona el perfil de temperatura interna más precisa con la capacidad de respuesta del monitoreo externo de temperatura y control. Cada zona está controlada por separado y se puede sintonizar automáticamente para proporcionar la mejor respuesta térmica y perfiles.

Plataforma modular innovadora
Nuestra plataforma modular incluye una serie de opciones que se pueden configurar para satisfacer sus necesidades específicas de proceso. Muchas de las opciones son campo actualizables.

CONFIGURACIÓN ESTÁNDAR

  • CVD WinPrC™ software de control de procesos basado para el Control de Tiempo real de proceso, registro de datos, generación de recetas y edición.
  • Opciones de montaje : izquierda, derecha, mampara, salón de baile.
  • Hasta cuatro (4) tubos de proceso.
  • Sistema automático de sustrato en voladizo de carga/descarga.
  • Oblea de tamaños de hasta 200 mm (3 horno de pila) oblea de tamaños de hasta 150 mm (4 horno de pila).
  • Hasta 25 a 50 obleas por carga (depende del proceso). Cargas más grandes están disponibles bajo petición.
  • Control en tiempo real de la temperatura de proceso en cascada.
  • Configuraciones atmosféricas y proceso de baja presión disponibles.
  • 4 Líneas de gas UHP de masa controlada por tubo de proceso.
  • Advertencias y alarmas de usuario configurables.
  • Aplicación de sistemas de seguridad configurados.
  • Software y Hardware de Seguridad Integral enclavamientos.
  • Un (1) año de garantía.
  • Semi – S2/S8 y CE Compatible.

OPCIONES

  • Oxidación seca (oxígeno) o húmeda (burbujeador H2O).
  • Oxidación pirogénica usando una cámara independiente para generar vapor puro.
  • Hornos rodantes/hornos para el rápido calentamiento y enfriamiento.
  • Kit de suministro de vapor de líquido/sólido.
  • ventilación: estabiliza los flujos de gas (sin pasar por el tubo de tratamiento) antes de desembocar en el tubo de proceso.
  • Burbujeador de recarga automática líquida.
  • Aire para intercambiador de calor de agua para el agua de refrigeración.
  • Analizador de gas residual.
  • Gabinetes de gas peligrosos EasyGas™.
  • Paneles de gas EasyPanel™ para argón, nitrógeno, helio, oxígeno.
  • Sistema de gases de escape acondicionado EasyExhaust™ (lavador/pirólisis).

REQUERIMIENTOS DE INSTALACIONES

  • Eléctrico: 208 VAC, 60 Hz, L1, L2, L3, N, G 30 – 160 AMPS.
  • Dimensión: 118″ Longitud, 43″ Anchura, 90″ Altura, 3500 – 4500 lbs.
  • Gabinete de Escape: 500 scfm(Compartimiento del horno) 300 scfm(compartimiento de gas), 1″WC.
  • Agua De Refrigeración: 2 gpm 30-60 psig.
  • Suministro Neumático: Aire limpio o N2, 1 SCFM, 80 psig.
  • Instalación de Nitrógeno: 30 slpm 20 psig.
  • Gases de Proceso: Especificado por el Cliente.
  • NOTA: Variación eléctrica según el país; los requisitos instalaciones varían con las opciones del sistema. Consulte a la fábrica para obtener más información.