CARACTERÍSTICAS
- Manipulador de cuatro (4) ejes con sistema de calentamiento por láser.
- Temperatura de calentamiento hasta 1200 ° C ± 1 ° C en atmósfera rica en oxígeno.
- 2-10 células de efusión.
- Crio-panel totalmente recubierto.
- Monitor de flujo de haces.
- Sistema RHEED de alta presión.
- Control de presión.
- Depósito por láser pulsado.
