APLICACIONES
- Celdas solares de película delgadas de Silicio.
ESPECIFICACIONES
| Tamaño de muestra | Obleas de hasta 4″ |
| Fuente de alimentación | RF 13.56MHz, VHF 60MHz |
| Tipo de depósito | PE-CVD, VHFCVD |
| Tipo de plasma | Plasma directo |
| Temperatura de sustrato | Máxima 450 C |
| Uniformidad de temperatura | < ±3% |
| Bombeo de vacío | Mecánica + TMP + Booster |
| Máxima presión | 5 x 10-6 Torr en 60min |
| Sistema totalmente automatizado utilizando interfaz PC |
