CARACTERÍSTICAS
- Fácil operación e instalación.
- Operación con PLC a través de un PC.
- Registro de datos.
- Más de 100 recetas programables.
ESPECIFICACIONES
| Tipo | Manual (Mask Aligner) |
| Tamaño de Máscara | Hasta 7″ x 7″ |
| Tamaño de Sustrato | Una pieza de 6″ diámetro |
| Lámpara UV | 1Kw y Fuente de alimentación |
| Tamaño de la uniformidad de haz |
6.25″ x 6.25″ |
| Uniformidad de haz | <±5% |
| Longitud de onda del haz |
350 ~ 450nm |
| Intensidad de 365nm | 15~25mW/cm2 |
| Precisión en la alineación | 1um |
| Resolución del proceso | 1um@1um PR espesor por contacto con vacío |
| Modo de proceso | Suave, Intenso, Proximidad y contacto |
| Movimiento del sustrato | x,y (manual),z & θ (motorizados) |
| Opciones | CCD BSA Medidor de intensidad UV |
