CARACTERÍSTICAS
- Fácil operación UI.
- Operación con PLC a través de un PC.
- Registro de datos.
- Más de 100 recetas programables.
- Control joystick.
- Sistema de control de posicionamiento con microscopio.
ESPECIFICACIONES
| Tipo | Control joystick semiautomático (Mask Aligner) |
| Tamaño de Máscara | Hasta 610 x 610 (usuario) |
| Tamaño de Sustrato | Una pieza de 500 x 500(usuario) |
| Lámpara UV | 2kW y Fuente de alimentación 5 kW y Fuente de alimentación |
| Tamaño de la uniformidad de haz |
600 x 600 (especificación usuario) |
| Uniformidad de haz | <±7% |
| Longitud de onda del haz |
350 ~ 450nm |
| Modo de proceso | Suave, Intenso, Proximidad y contacto |
| Movimiento del sustrato | x,y, z & θ (motorizados) |
| Opciones | CCD BSA Medidor de intensidad UV |
