26LSC4000

CARACTERÍSTICAS

  • 21″ de diámetro exterior.
  • Sustratos de 15″ x 15″.
  • Obleas de 450 mm.
  • Gran cámara Ambiental con sistema Megasonic DI, Cepillo, Agua de-ionizada caliente, DI de alta presión, con calefacción N2, brazo dispensador de químicos.
  • Cepillo de velocidad variable con dispensador químico.
  • Interfaz de usuario de pantalla táctil.
  • Carga y descarga de manual.
  • Enclavamientos de seguridad y alarma.
  • Tamaño 30″D x 26″W.

APLICACIONES

    Limpieza

  • Obleas de silicio.
  • Obleas de zafiro.
  • Chips en obleas.
  • Pantallas.
  • Pantallas recubiertas de ITO.
  • Máscaras con y sin patrones.
  • Máscara en blanco.
  • Máscaras de contacto.

    FotoResina

  • Recubrimiento.
  • Despegue.
  • Separación con solución piraña.

    Grabado

  • Grabado en metal de Al, Au, Cr, Ti.

OPCIONES

    Limpiador piraña

  • Dispensado de H2SO4 y H2O2 y mezclado en la oblea.
  • Calentado IR > 200 °C.
  • Cepillo limpiador.
  • Limpiador Megasónico con agua DI.
  • Secado con N2 caliente y centrifugado.

    Limpiador de Oblea CMP

  • Elimina partículas CMP con cepillo y limpieza megasónica.
  • Brazo dispensador de químicos.
  • Canasta dispensadora de químicos.
  • Cabezales especiales para la limpieza con cepillo frontal y posterior.
  • Velocidad variable (< 800 rpm) de cepillo PVA.
  • Presión del cepillo ajustable.
  • Dispensado de químicos a través del cepillo.