CARACTERÍSTICAS
- Fácil operación e instalación.
- Capacidad para sustratos de varios tamaños.
- Control PLC a través de pantalla táctil.
ESPECIFICACIONES
| Tipo | Control manual por PLC (Mask Aligner) |
| Tamaño de Máscara | Hasta 7″ x 7″ |
| Tamaño de Sustrato. | Una pieza de 6″ diámetro |
| Lámpara UV | 350W y fuente de alimentación |
| Tamaño de la uniformidad de haz |
6.25″ x 6.25″ |
| Uniformidad de haz | <±5% |
| Longitud de onda del haz |
350 ~ 450nm |
| Intensidad de 365nm | ~25mW/cm2 |
| Precisión en la alineación | 1um |
| Resolución del proceso | 1um@1um PR espesor con contacto con vacío |
| Modo de proceso | Suave, Intenso, Proximidad y contacto |
| Movimiento del sustrato | x,y,z & θ |
| Opciones | Mesa anti vibraciones IR BSA Medidor de intensidad UV Módulo de exposición UV-LED(365nm) |
