SiliconThinfilm

APLICACIONES

  • Celdas solares de película delgadas de Silicio.

ESPECIFICACIONES

Tamaño de muestra Obleas de hasta 4″
Fuente de alimentación RF 13.56MHz, VHF 60MHz
Tipo de depósito PE-CVD, VHFCVD
Tipo de plasma Plasma directo
Temperatura de sustrato Máxima 450 C
Uniformidad de temperatura < ±3%
Bombeo de vacío Mecánica + TMP + Booster
Máxima presión 5 x 10-6 Torr en 60min
Sistema totalmente automatizado utilizando interfaz PC