MDA-60MS

CARACTERÍSTICAS

  • Fácil operación e instalación.
  • Operación con PLC a través de un PC.
  • Registro de datos.
  • Más de 100 recetas programables.

ESPECIFICACIONES

Tipo Manual (Mask Aligner)
Tamaño de Máscara Hasta 7″ x 7″
Tamaño de Sustrato Una pieza de 6″ diámetro
Lámpara UV 1Kw y Fuente de alimentación
Tamaño de la
uniformidad de haz
6.25″ x 6.25″
Uniformidad de haz <±5%
Longitud de onda
del haz
350 ~ 450nm
Intensidad de 365nm 15~25mW/cm2
Precisión en la alineación 1um
Resolución del proceso 1um@1um PR espesor por
contacto con vacío
Modo de proceso Suave, Intenso,
Proximidad y contacto
Movimiento del sustrato x,y (manual),z &
θ (motorizados)
Opciones CCD BSA
Medidor de intensidad UV