MDA-400M

CARACTERÍSTICAS

  • Fácil operación e instalación.
  • Capacidad para sustratos de varios tamaños.
  • Control PLC a través de pantalla táctil.

ESPECIFICACIONES

Tipo Control manual por PLC (Mask Aligner)
Tamaño de Máscara Hasta 7″ x 7″
Tamaño de Sustrato. Una pieza de 6″ diámetro
Lámpara UV 350W y fuente de alimentación
Tamaño de la
uniformidad de haz
6.25″ x 6.25″
Uniformidad de haz <±5%
Longitud de onda
del haz
350 ~ 450nm
Intensidad de 365nm ~25mW/cm2
Precisión en la alineación 1um
Resolución del proceso 1um@1um PR espesor con
contacto con vacío
Modo de proceso Suave, Intenso,
Proximidad y contacto
Movimiento del sustrato x,y,z & θ
Opciones Mesa anti vibraciones
IR BSA
Medidor de intensidad UV
Módulo de exposición UV-LED(365nm)