MDA-12FA

CARACTERÍSTICAS

  • Fácil operación UI.
  • Operación con PLC a través de un PC.
  • Registro de datos.
  • Más de 100 recetas programables.
  • Sistema de control de posicionamiento con microscopio.
  • Auto alineamiento con la función de búsqueda de marca.

ESPECIFICACIONES

Tipo Totalmente automática (Mask Aligner)
Tamaño de Máscara Hasta 14″ x 14″
Tamaño de Sustrato 12″ circular
Lámpara UV 5kW y Fuente de alimentación
Tamaño de la
uniformidad de haz
13.25″ x 13.25″
Uniformidad de haz <±5%
Longitud de onda
del haz
350 ~ 450nm
Intensidad de 365nm 25~60mW/cm2 (2kW)
Precisión en la alineación 1um
Resolución del proceso 1um@1um PR espesor
por contacto con vacío
Modo de proceso Suave, Intenso,
Proximidad y contacto
Movimiento del sustrato x,y, z & θ (motorizados)
Prealineamiento ±50 μm
Opciones Medidor de intensidad UV
Módulo de exposición UV-LED (350 nm)