Expande las características de la línea ÅMOD, el gran tamaño de EVOVAC permite agregar más configuraciones y la integración de una Glove Box con una apertura más amplia y mayor altura de la cámara. Capacidad para evaporar por la técnica de resistencia térmica, depósito por sputtering, evaporación por haz de electrones, depósito por has de iones asistido.
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Capacidades del proceso
- Evaporación térmica resistiva.
- Deposición catódica.
- Evaporación por haz de electrones.
- Deposición de iones asistida.
- Personalización disponible.
VISIÓN GENERAL
- Software de sistema de control avanzado Angstrom basado en PC.
- Mayor distancia entre la fuente y el sustrato.
- Opciones de cámara en aluminio o acero inoxidable.
- Diseñado a la medida para satisfacer los requisitos del proceso.
- Soporte para múltiples procesos PVD.
- Opción de integración de guantera.
- Área del equipo de 1600mm x 1000mm.
- 660mm x 500mm x 660m de altura de la cámara con opción de puertas corredizas y abatibles.
- Voltajes de entrada internacional disponible.
- Control avanzado de recetas a base de varias capas con control de inicio de sesión del usuario.
- Secuencial o co-deposición.
- La fijación estándar admite hasta sustratos de 300 mm de diámetro, por favor póngase en contacto con nosotros para obtener ayuda con los tamaños más grandes de sustrato.
- Entrenamiento de fábrica incluido con cada sistema.
- Nuestro manual de formación detallado enseña nuevos usuarios cómo operar y mantener el equipo.
- La seguridad del usuario es de suma importancia con características tales como el corte de energía a las fuentes cuando la cámara está abierta.
- Garantía de 1 año con servicio al cliente.
CONTROL DE VACÍO
- Paletas rotativas u opciones de bomba mecánica de desplazamiento seco.
- Alto vacío proporcionado por bomba turbo o bomba criogénica.
- Filtro de línea de aire neumático impide desechos no deseados que lleguen y dañen componentes críticos.
- Sistema de fácil acceso interior con tablero eléctrico con bisagras.
CONTROL DE DEPOSICIÓN
- Máscara de Sombra y fijación de alineación de sustrato disponible.
- Los sensores están montados de forma rígida para asegurar que la calibración se mantenga.
- Calentamiento y enfriamiento de Substrato.
- En las configuraciones de co-deposición, los sensores QCM se aíslan con cuidado para garantizar que no hay interferencia a partir del material fuente.
- Deposición ángulo inclinación y movimiento planetario disponibles.
- Escudos de aislamiento de acero inoxidable para ayudar a proteger las fuentes de contaminación cruzada.
